بعد از درگذشت ابو جعفر علاءالدوله، دشمن زیار ابن مرزبان دیلمی که از طرف سیده خاتون مادر مجد الدوله دیلمی در اصفهان حکومت می‌کرد، بین پسران او اختلاف افتاد تا سرانجام طغرل سلجوقی در سال ۴۴۲ هجری اصفهان را از ظهیرالدوله پسر علاءالدوله گرفت و در عوض در سال ۴۴۳ هجری حکومت یزد و ابرقو را به او داد. این خاندان که از این تاریخ در یزد حکومت کردهاند، به اتابکان یزد معروف شده اند. آخرین فرد اتابکان یزد، حاجی شاه ابن یوسف شاه است.
نام اتابکان یزد
۱. ظهیرالدین ابو منصور فرامرز پسر علاءالدوله کاکویه.
۲. علاءالدوله پسر ظهیرالدین.
۳. امیر فرامرز پسر امیر علاءالدوله.
۴. اتابک سام و برادرش عزالدین.
۵. علاءالدوله پسر سام.
۶. قطب‌الدین محمود شاه پسر عز الدین.
۷. شاه علاءالدین پسر قطب‌الدین.
۸. یوسف شاه پسر شاه علاءالدین.
۹. حاجی شاه پسر یوسف شاه.